内容简介
纳米电子学诞生是微电子学发展到今天的必然,纳米电子器件是继微电子器件之后的下一代固体电子器件,纳米电子材料与器件是纳米电子学的基础和关键。本书较为系统地阐述了纳米尺度的电子学的理论基础和实验研究的现状,全书共分八章,内容包括:纳米电子学的诞生和发展综述;纳米材料及其电子学性质;纳米硅基CMOS器件;纳米电子学基础;固态纳米电子器件;纳米光电子材料和器件;纳米表征和纳米制造技术;碳纳米管场致发射显示器。
本书适合于电子学领域科研人员和电子学高年级本科生及研究生使用,同时也适合物理、化学和材料学科领域从事纳米科学技术科研工作者进行阅读。
目录
第一章 绪论
1.1 纳米科学技术的诞生及其潜在影响
1.2 从微电学到纳米电子学
1.3 纳米电子材料和器件
1.4 纳米尺度材料和器件的制备、测量及其表征
小结
参考文献
第二章 纳米材料及其电子学性质
2.1 纳米电子材料
2.2 纳米结构及其组装技术
2.3 固体电子学基础
2.4 低维纳米材料的电子结构
2.5 有限高势垒量子隧穿理论
小结
参考文献
第三章 纳米硅基CMOS器件
3.1 硅基MOS集成电路技术步入纳米尺度
3.2 纳米CMOS器件面临的挑战
3.3 纳米体硅CMOS器件结构
3.4 纳米体硅CMOS器件工艺
3.5 纳米体硅CMOS器件的量子效应
3.6 新型CMOS器件及其集成技术
小结
参考文献
第四章 纳米电子学基础
4.1 固体电子学在纳米尺度的发展空间
4.2 小尺度晶体中电子的输运性质
4.3 纳米结构的基本物理现象及其规律
4.4 纳米结构的Landauer-Buttiker输运理论
小结
参考文献
第五章 固态纳米电子器件
5.1 量子电子器件的基本类型及其特征
5.2 共振隧穿器件
5.3 单电子器件
5.4 碳纳米管互连及其场效应晶体管
小结
参考文献
第六章 纳米光电子材料和器件
6.1 固体光电子学的发展历史
6.2 低维半导体的光学性质
6.3 半导体发光二极管
6.4 异质结半导体激光器
6.5 半导体光电/光热探测器
6.6 光子晶体及其应用
小结
参考文献
第七章 纳米表征和纳米制造技术
7.1 纳米表征技术
7.2 纳米制造技术
小结
参考文献
第八章 碳纳米管场致发射显示器
8.1 场致发射现象及其基本规律
8.2 碳纳米管阴极的场致发射性质
8.3 碳纳米管平板显示器
小结
参考文献